1200℃スライダー型デュアルゾーンpecvdシステム

モデル

tob-dsp-1200℃

-pecvd-i

tob-dsp-1200℃

-pecvd-ii

tob-dsp-1200℃

-pecvd-iii

tob-dsp-1200℃

-pecvd-iv

パワー

3kw

3kw

4kw

4kw

炉管サイズ（mm）

直径60（od）x1800mm

直径80（od）x1800mm

直径100（od）x1800mm

直径120（od）x1800mm

寸法

1800x410x610

1800x410x610

1800x460x660

1800x460x660

電源電圧

220v

フェーズ番号

単相

制御モード

ユディアン温度制御

30セクションでは、pid温度調節のみを使用できます。

fp93温度制御（日本から）

（追加料金で輸入楽器を交換します）

プログラムが4つのグループ、各プログラムセグメント10に分割されている場合、1,40セクションプログラム温度制御は4,2,1グループプログラムに分割できます。

2,6グループのpid制御、低温、中温、高温はそれぞれpidのセットを使用できるため、各セグメントは温度を非常に正確に制御できます。

温度制御モード

インテリジェントPID

燃え尽き防止とディスプレイ

はい

過熱保護

はい

過電流保護

はい

制御精度

+/- 1℃

引き金

位相シフトトリガー

scr

106 / 16Eドイツサイモン・カン

1.2温度帯の最高温度

1200℃

1.2温度帯

定格温度

1150℃

加熱速度

≤30℃/分（リクエストに応じて変更可能）

推奨加熱速度

≤15℃/分

熱電対タイプ

kタイプ

1.2温度ゾーン加熱長

205mm

周囲の表面温度

≤45℃

プラズマrfパワー

出力範囲

0-500w

最大反射電力

10w

信号周波数

13.56mhz±0.005％

ノイズ

＆lt; 30 db

空冷

冷却方法

入力電力

208-240v 50 / 60hz

gx供給システムの主なパラメーター

標準範囲

プロトン流量コントローラー5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm、1,2,3,5,10slm

（任意のスケールを選択できます）

正確さ

±1.5％

圧力降下

＆lt; 0.01mpa

再現性

±0.2％f.s

最大

作動圧力

3mp

vs-0.1排気システム

電源

220v / 380v 380w

排気速度

2リットル/秒

抵抗真空計

zdr-i

真空測定範囲

0.1-10 5 pa

真空ポンプ

vrd-8

コルゲートパイプ

kf25x1000mm

真空システム

10 -1pa