商品番号。:
TOB-DSP-1200℃-PECVD注文(moq):
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China出荷港:
XIAMENリード タイム:
7days1200℃スライダー型デュアルゾーンpecvdシステム
仕様書
モデル |
tob-dsp-1200℃ -pecvd-i |
tob-dsp-1200℃ -pecvd-ii |
tob-dsp-1200℃ -pecvd-iii |
tob-dsp-1200℃ -pecvd-iv |
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パワー |
3kw |
3kw |
4kw |
4kw |
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炉管サイズ(mm) |
直径60(od)x1800mm |
直径80(od)x1800mm |
直径100(od)x1800mm |
直径120(od)x1800mm |
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寸法 |
1800x410x610 |
1800x410x610 |
1800x460x660 |
1800x460x660 |
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電源電圧 |
220v |
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フェーズ番号 |
単相 |
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制御モード |
ユディアン温度制御 30セクションでは、pid温度調節のみを使用できます。 fp93温度制御(日本から) (追加料金で輸入楽器を交換します) プログラムが4つのグループ、各プログラムセグメント10に分割されている場合、1,40セクションプログラム温度制御は4,2,1グループプログラムに分割できます。 2,6グループのpid制御、低温、中温、高温はそれぞれpidのセットを使用できるため、各セグメントは温度を非常に正確に制御できます。 |
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温度制御モード |
インテリジェントPID |
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燃え尽き防止とディスプレイ |
はい |
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過熱保護 |
はい |
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過電流保護 |
はい |
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制御精度 |
+/- 1℃ |
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引き金 |
位相シフトトリガー |
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scr |
106 / 16Eドイツサイモン・カン |
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1.2温度帯の最高温度 |
1200℃ |
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1.2温度帯 定格温度 |
1150℃ |
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加熱速度 |
≤30℃/分(リクエストに応じて変更可能) |
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推奨加熱速度 |
≤15℃/分 |
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熱電対タイプ |
kタイプ |
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1.2温度ゾーン加熱長 |
205mm |
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周囲の表面温度 |
≤45℃ |
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プラズマrfパワー |
出力範囲 |
0-500w |
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最大反射電力 |
10w |
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信号周波数 |
13.56mhz±0.005% |
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ノイズ |
< 30 db |
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空冷 |
冷却方法 |
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入力電力 |
208-240v 50 / 60hz |
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gx供給システムの主なパラメーター |
標準範囲 |
プロトン流量コントローラー5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm、1,2,3,5,10slm (任意のスケールを選択できます) |
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正確さ |
±1.5% |
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圧力降下 |
< 0.01mpa |
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再現性 |
±0.2%f.s |
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最大 作動圧力 |
3mp |
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vs-0.1排気システム |
電源 |
220v / 380v 380w |
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排気速度 |
2リットル/秒 |
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抵抗真空計 |
zdr-i |
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真空測定範囲 |
0.1-10 5 pa |
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真空ポンプ |
vrd-8 |
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コルゲートパイプ |
kf25x1000mm |
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真空システム |
10 -1pa |
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