管状炉は水平管状炉であり、発熱体として炭化ケイ素を採用しています。プログラム可能な温度コントローラーは、pid調整でインストールされます。
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3つのゾーン1700℃CVD真空管状炉炉は発熱体としてシリコンモリブデン棒を使用し、二層シェル構造と31セクションプログラム温度制御システム、位相シフトトリガーとシリコン制御制御を採用し、炉はアルミナセラミックファイバー、真空成形ファイバーライトプレート材料を採用しています。続きを読む

