太陽電池ペロブスカイト用グローブボックス真空成膜一体型装置

太陽電池ペロブスカイト用グローブボックス真空成膜一体型装置

仕様

モデル：TOB-GB-ZK

応用

主に、太陽電池ペロブスカイト、OLED および PLED、半導体製造などの実験的研究と応用に使用されます。

動作原理

このシステムは、真空コーティングシステムとグローブボックスシステムと統合されており、高真空蒸着チャンバーで薄膜蒸着を完了し、グローブボックス内の高純度不活性ガス雰囲気下で蒸着後のサンプルを保存、準備、およびテストできます。

利点

蒸着コーティングとグローブボックスの組み合わせにより、蒸着、パッケージング、テスト、およびその他のプロセスの完全に密閉された生産が実現されるため、フィルムの成長とデバイスの準備プロセス全体が完全に制御可能な環境雰囲気システムに高度に統合され、不安定な要因の影響が排除されます有機大面積回路の調製中の大気環境で、高性能で大面積の有機光電子デバイスおよび回路の調製を確実にします。

汎用性の高いマグネトロンスパッタリングコーティングシステム

主な用途

各種金属膜、半導体膜、誘電体膜、マグネトロン膜、光学膜、超電導膜、センシング膜、機能膜など、様々な特殊ニーズに対応しています。

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