1200℃回転式真空管炉

モデル

tob-dsp-1200℃-pecvds

回転式真空管炉

パワー

3.5kw

炉管サイズ（mm）

直径60（od）x1200mm

寸法

1300x420x1200

電源電圧

220v

フェーズ番号

単相

温度制御モード

ユディアン温度制御

30セクションでは、pid温度調節のみを使用できます。

fp93温度制御（日本から）

（追加料金で輸入楽器を交換します）

1,40セクションプログラムの温度制御は、4,2,1グループプログラムに分割できます。

プログラムが4つのグループに分かれている場合、各プログラムセグメント10

2,6グループのpidコントロール、低温、中温、高温のそれぞれにpidのセットがあり、

各セグメントが温度を制御できるように非常に正確です。

引き金

位相シフトトリガー

scr

106 / 16Eドイツサイモン・カン

最高温度

1200℃

定格温度

1100℃

加熱速度

≤30℃/分（リクエストに応じて変更可能）

制御精度

+/- 1℃

推奨加熱速度

≤15℃/分

加熱長さ

400mm

熱電対タイプ

kタイプ

認証

ce

周囲の表面温度

≤45℃

モーターの電源を入れます

40w

電気パターパワー

40w

炉は角度を傾けることができます

-10〜30度

チューブ回転数

連続可変モーター速度は1-25回転/分で調整可能

プラズマrfパワー

出力範囲

0-500w

最大反射電力

10w

信号周波数

13.56mhz±0.005％

ノイズ

＆lt; 30 db

空冷

冷却方法

入力電力

208-240v 50 / 60hz

gx供給システム

主なパラメータ

標準範囲

プロトン流量コントローラー5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm、

1,2,3,5,10slm

（任意のスケールを選択できます）

正確さ

±1.5％

圧力降下

＆lt; 0.01mpa

再現性

±0.2％f.s

最大

作動圧力

3mp

vs-0.1排気システム

電源

220v / 380v 380w

排気速度

2リットル/秒

抵抗真空計

zdr-i

真空測定範囲

0.1-10 5 pa

真空ポンプ

vrd-8

コルゲートパイプ

kf25x1000mm

真空システム

10 -1pa